设备基台无振动或刚性需求，但重量很重，需要分压承重。  

根据工艺设备对于承重、刚性和微振等要求，提供不同类型的被动防微振技术和设备。包括防微振基座系统、高刚性基座系统，精度可达VC-A/B/C/D/E/F/G等级别。 

根据工艺设备对于微振要求，采用主动式隔振设备，精度可达VC-C/D/E/F/G等级别。

专为曝光机、蒸镀设备定制的超大型防微振基台，高承载、高刚性、强隔振，有效抑制地面振动，保障制程精度与设备稳定。